Màng Acoustic MEMS: Cách mạng hóa việc thu âm thanh

Các màng áp suất MEMS là các yếu tố tiên tiến ở trung tâm của các cảm biến áp suất hiệu suất cao, chuyển đổi những biến đổi nhỏ trong áp suất thành tín hiệu điện. Những màng này thường là các màng ngăn làm từ silicon, polysilicon hoặc kim loại, biến dạng dưới áp suất và gây ra sự thay đổi về điện trở (hoặc điện dung) [2]. Từ việc giám sát các biến số y tế quan trọng đến việc giữ an toàn cho môi trường xung quanh trong lĩnh vực công nghiệp, chúng rất quan trọng cho nhiều loại hệ thống. Các màng áp suất MEMS được thiết kế để rất nhạy cảm và chính xác, điều này làm cho chúng tốt cho việc phát hiện những thay đổi nhỏ trong áp suất. Chúng cũng được thiết kế để chịu đựng các điều kiện môi trường khắc nghiệt như nhiệt độ môi trường cực đoan và môi trường ăn mòn, để đảm bảo độ tin cậy trong bất kỳ ứng dụng nào.