Акустические мембраны MEMS: революционный способ захвата звука

Мембраны давления MEMS - это передовые элементы в центре высокопроизводительных датчиков давления, которые преобразуют небольшие изменения давления в электрический сигнал. Эти мембраны, как правило, являются диафрагмами из кремния, поликремния или металлов, которые деформируются под давлением и вызывают изменение электрического сопротивления (или емкости) [2]. От мониторинга важных медицинских переменных до обеспечения безопасности окружающей среды в промышленном секторе, они жизненно важны для многих типов систем. Мембраны давления MEMS предназначены для того, чтобы быть достаточно чувствительными и точными, что делает их хорошими для обнаружения небольших изменений давления. Они также предназначены для выдержки суровых условий окружающей среды, таких как экстремальные температуры окружающей среды и коррозионная атмосфера, чтобы обеспечить надежность в любом применении.