MEMS akustické membrány: Revoluce v zachycování zvuku

MEMS tlakové membrány jsou pokročilé prvky v centru vysoce výkonných tlakových senzorů, které převádějí malé variace tlaku na elektrický signál. Tyto membrány jsou obvykle membrány vyrobené ze silikonu, polysilikonu nebo kovů, které se deformují pod tlakem a způsobují změnu elektrického odporu (nebo kapacity) [2]. Od monitorování důležitých lékařských proměnných po zajištění bezpečnosti okolí v průmyslovém sektoru jsou nezbytné pro mnoho typů systémů. MEMS tlakové membrány jsou navrženy tak, aby byly velmi citlivé a přesné, což je činí vhodnými pro detekci malých změn tlaku. Jsou také navrženy tak, aby odolávaly drsným environmentálním podmínkám, jako jsou extrémní okolní teploty a korozní atmosféry, aby zajistily spolehlivost v jakékoli aplikaci.