Membran Akustik MEMS: Revolusi Pengambilan Bunyi

Membran tekanan MEMS adalah elemen canggih di tengah sensor tekanan berprestasi tinggi yang menerjemahkan variasi kecil dalam tekanan menjadi isyarat elektrik. Membran ini biasanya adalah diafragma yang dibuat daripada silikon, polisilicon atau logam yang berubah bentuk di bawah tekanan dan menyebabkan perubahan rintangan elektrik (atau kapasitans) [2]. Dari memantau pembolehubah perubatan yang penting hingga memastikan keselamatan persekitaran dalam sektor industri, mereka adalah penting untuk banyak jenis sistem. Membran tekanan MEMS direka untuk menjadi sangat sensitif dan tepat, yang menjadikannya baik untuk mengesan perubahan kecil dalam tekanan. Mereka juga direka untuk bertahan dalam keadaan persekitaran yang keras seperti suhu ambien yang ekstrem dan suasana kakisan, untuk memberikan kebolehpercayaan dalam sebarang aplikasi.