Proteggere efficacemente i MEMS dalla sporcizia aerea comporta vantaggi significativi. Le particelle di polvere, dissuase dal disturbare le funzioni meccaniche o le linee elettriche, garantiscono che l'affidabilità rimanga soprattutto dove l'ambiente presenta elevati rischi di contaminazione come le zone industriali o i luoghi all'aperto.
Inoltre, schermare i contaminanti allunga la durata riducendo l'usura meccanica, l'usura o la corrosione, portando a dispositivi più duraturi e robusti vantaggiosi non solo per gli utenti finali ma anche per i produttori riducendo le sostituzioni o le riparazioni necessarie.
Le misure protettive contribuiscono inoltre a mantenere la precisione attraverso il mantenimento della purezza. Anche la minima polvere rischia di causare letture errate o guasti, in particolare nei sensori e nei microfoni. Confermando che la pulizia e le aperture rimangano libere, le prestazioni rimangono costanti e affidabili.
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